电子工业专用设备:

　　一、半导体器件和集成电路专用设备

　　(一)半导体材料制备、外延和化学机械抛光 (二)曝光、刻蚀和匀胶显影设备 (三)扩散、离子注入和快速热处理设备 (四)化学、物理气象淀积和镀铜设备 (五)后序组装和封装生产设备 (六)在线工艺检测设备 (七)中间和成品测试设备 (八)其他

　　二、电真空器件专用设备

　　(一)电子管生产设备 (二)电光源生产设备 (三)液晶显示器件生产设备 (四)真空开关管生产设备 (五)显像管及电子枪生产设备 (六)其他

　　三、电子元件专用设备

　　(一)电阻、电位器生产设备 (二)电容器生产设备 (三)陶瓷元件生产设备 (四)磁性材料及元件生产设备 (五)印制电路板生产设备 (六)线缆生产设备 (七)敏感元器件及传感器生产设备 (八)频率元器件生产设备 (九)绿色电池生产设备 (十)其他

　　四、电子整机装联设备

　　(一)自动插片机 (二)自动贴片机 (三)装配生产线 (四)波峰焊接、再流焊接设备 (五)表面贴装印刷设备 (六)其他

　　六、电子通用设备

　　(一)真空获得设备 (二)超声波设备 (三)精密焊接设备 (四)干燥设备 (五)空调设备 (六)塑料加工设备 (七)电加工设备 (八)压力加工设备 (九)精密电子丝网印刷设备 (十)防静电系列产品 (十一)清洗设备 (十二)其他

　　电子工业模具及齿轮 :

　　一、电子工业模具及齿轮

　　(一)模具 (二)模架 (三)模具标准件 (四)气动工具 (五)电动工具 (六)焊接工具